每日經(jīng)濟新聞 2025-12-24 11:26:32
每經(jīng)AI快訊，12月24日，據(jù)晶盛機電官微消息，近日，晶盛機電在碳化硅（SiC）核心裝備領(lǐng)域取得重大突破，12英寸單片式碳化硅外延生長設(shè)備順利交付全球頭部SiC外延晶片生產(chǎn)商瀚天天成。此次研發(fā)的12英寸單片式SiC外延設(shè)備可兼容8、12英寸SiC外延生產(chǎn)，其獨創(chuàng)的垂直分流進氣方案，實現(xiàn)了晶圓表面溫度高精度閉環(huán)控制、工藝氣體精確分區(qū)控制等技術(shù)，同時設(shè)備配備了自動化上/下料模塊及一鍵自動PM輔助功能，大幅提升顆?？刂颇芰途S護效率。
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